半導體、光電等相關科技產業為我國競爭力強、資本密集的產業，過去幾年因火災而損失的金額即高達約200億台幣以上；面對如此巨額的損失，對半導體業者與產險業者而言，都是慘痛的經驗。現有高科技產業都是應用有限的土地設置精密而昂貴的設備，製程中處處可見可燃性、易燃性之氣體與液體。隨著生產設備逐漸的自動化，這些的科技廠房中，存在許多危害的因子，而這些危害因子，以火災造成的危害最大，一但發生意外事故或災害時，將造成嚴重損失及危害，對公司而言不但損失金錢、商譽，更可能面臨訂單流失，造成產業無法生存的困境。因此這些科技產業平時必須特別注重工業安全，加強安全教育與訓練工作。　　本文將針對高科技廠房共通性火災危險特性及可能的初期火災現象，提出適用之初期滅火系統之建言；並分析可選用於高科技廠房精密貴重儀器設備機材空間之初期滅火設備種類，希望對各級高科技廠房及精密儀器中心之安全與防災工作有所助益。